مقدمه
امروزه ارقام حاصل از اندازه گیری به عناوین مختلف و بیشتر از گذشته مورد استفاده قرار می گیرد. بنابراین کیفیت ارقام حاصله از اندازه گیری بطور مستقیم به اندازه گیری هایی بستگی دارد که از سیستم های اندازه گیری (ابزار دقیق) گرفته می شود. اندازه گیری فرایند مقایسه ای یک کمیت بین یک استاندارد تعریف شده و یک مقدار مجهول می باشد. در عصر شتاب در پیشرفت علمی، استاندارد خدمات، تولید و گسترش روشهای تولید، روشهای اندازه گیری نیز گسترش در خور توجهی نموده اند. روش های اندازه گیری سه بعدی یکی از مهمترین روش های اندازه گیری می باشند. دستگاه های اندازه گیری مختصات (CMM) برای اندازه گیری سه بعدی قطعات و یا هر چیزی که اندازه های آن با پارامترهایی مانند توازی، تعامد، زاویه، ابعاد و … در آن باید بصورت سه بعدی اندازه گیری شوند در صنایع مختلفی نظیر خودرو سازی، ماشین سازی، هوا فضا و مخصوصا علم نوین نانو کاربرد وسیعی دارند. در این مقاله سعی بر این است که درک صحیحی از عملکرد، تاریخچه، بخش های مختلف یک سی. ام. ام، شرایط محیطی و کالیبراسیون یک دستگاه سی. ام. ام و اصول استفاده از آنها در مقیاس نانو ارائه گردد.